掃描近場拉曼光譜儀是“掃描近場/共聚焦拉曼光譜成像/原子力顯微鏡”聯用系統。

近場光學顯微鏡包含透射模式和近場接收模式，近場空間分辨率<90nm、<50nm可選；近場顯微波長範圍400-700 nm。共聚焦顯微拉曼模式（透射模式，反射模式）：300 mm焦距光譜儀，含300線/mm和1800線/mm光栅，配置532 nm和633 nm激光器。原子力顯微模式包含接觸模式、橫向力模式、輕敲力模式。xyz壓電陶瓷掃描平台，行程100*100*20 um，掃描準确度2*2*0.5 nm。