實用新型專利名稱：進氣方式及壓力可調的多功能大尺寸化學氣相沉積設備
發明人：劉忠範、陳召龍、張豔鋒、陳旭東
專利号：ZL201621240862.2
授權公告日：2017年5月10日
專利權人：beat365