最小測試漏電流為10-12 A，探針曲率半徑為0.5 μm，顯微鏡最大放大倍率為400倍，配合電學測試系統，适合測量1微米或以上線寬的器件的電學性質，最多可以進行四極測量。可用于大尺寸矽片（最大6英寸）或集成器件檢測，能進穩定和精确的移動和探針測量。

 

最小測試漏電流為10-12 A，探針曲率半徑為0.5μm，顯微鏡最大放大倍率為400倍，配合電學測試系統，适合測量1微米或以上線寬的器件的電學性質，最多可以進行四極測量。可用于大尺寸矽片（最大6英寸）或集成器件檢測，能進穩定和精确的移動和探針測量。